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詳細情報 |
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| Material: | LiNbO3 | Diameter/size: | 2”/3”/4”/6“/8” |
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| Cutting Angle: | X/Y/Z etc | TTV: | <3μm |
| Bow: | -30| Warp: |
<40μm |
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製品の説明
紹介:
LNOI (リチウムニオバートオンアイソレーター) ウェーファーは,高度な光子および量子装置の開発に使用される最先端材料です.これらのウエフルは,リチウムニオバート (LiNbO3) の薄い層を隔熱基板に結合して製造される.LNOIウエファーは,リチウムニオバートの特殊な光学とピエゾ電気特性を継承します.統合光学における高性能アプリケーションにとって不可欠なものとするこの記事では,LNOIウエファーに関する基本原理,主要なアプリケーション,およびよくある質問を調査します.
LNOI ワッフル製造の原理:
LNOIウエフルの作成プロセスは複雑で,最終製品の高品質と機能性を確保するためのいくつかの重要なステップが含まれています.
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イオン植入:
製造プロセスは,大量にリチウムニオバート結晶から始まります.高エネルギーヘリウム (He) イオンが結晶表面に埋め込まれます.イオンのエネルギーと深さは,リチウムニオバート層の厚さを決定しますこのイオンの植入は,結晶の中に脆弱な平面を作り,プロセスの後段階では薄くて高品質のリチウムニオバートフィルムを生成するために分離することができます. -
基板への結合:
イオン植入が完了すると,リチウムニオバート層 (イオンによって弱くなった) は,典型的にはシリコンという隔熱基板に結合する.これは直接のウエファー結合技術を使用して行われます表面が高圧と高温で圧縮される.その結果,結合は薄いリチウムニオバート層とサポート基板の間の安定したインターフェースを形成する. -
焼却と層分離:
粘着後,ウエファーは焼却プロセスを経て,イオン植入によって引き起こされた損傷を修復するのに役立ちます.焼却ステップはまた,リチウムニオバートの上層を散布結晶から分離を促進します.質の高い薄いリチウムニオバート層が基板に形成され,様々な光子および量子アプリケーションで使用するために不可欠です. -
化学機械磨き (CMP):
望ましい表面質と平らさを達成するために,ウエファーは化学機械磨き (CMP) に服します.CMPは表面の荒さを滑らします.最終的なウエファが高性能フォトン装置で使用するための厳格な要件を満たしていることを確保するこのステップは,最適な光学性能を確保し,欠陥を減らすために重要です.
LNOIウエフルの用途:
LNOIウエファは,特に光子,量子,高速アプリケーションのための高度な材料特性を必要とする分野で使用されています.下記は,LNOIウエファが不可欠な主要な分野です.:
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統合光学:
LNOIウエファは,モジュール,波導体,共鳴器などの光子装置の基礎として使用される統合光学で広く使用されています.この装置は,集積回路レベルで光を操作するために不可欠です高速データ送信,信号処理,先進的な光学アプリケーションを可能にします. -
電気通信:
LNOI ウェーバーは,通信,特に光通信システムにおいて重要な役割を果たします.高速光ファイバーネットワークの必須部品であるLNOIの特殊な電光特性により,現代の通信システムにとって不可欠な高周波の正確な光調節が可能になります. -
量子コンピューティング
LNOIウエファは,量子鍵配分 (QKD) と量子暗号学にとって不可欠な,絡み合った光子ペアを生成する能力により,量子技術にとって理想的な材料である.量子コンピューティングシステムへの統合により 先進的な光子回路の開発が可能になります量子コンピューティングと通信技術の未来にとって 極めて重要です -
センサー技術:
LNOIウエファーは,光学および音響センサーアプリケーションにも使用されます.ウエファーの光と音の両方との相互作用能力により,医療診断に使用されるセンサーに価値があります.環境監視高度な感度と安定性により,正確な測定を保証し,これらの分野において不可欠です.
よくある質問 (FAQ):
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LNOIのウエフルは何でできているの?
LNOIウエーファーには,通常シリコンという隔熱基板に結合した薄い層のリチウムニオバート (LiNbO3) が含まれる.リチウムニオバート層は優れた光学およびピエゾ電気特性を備えている.,高性能なアプリケーションに最適です -
LNOIのウエフとSOIのウエフの違いは?
LNOIとSOIの両方のウエファは,隔熱基板に結合した薄膜で構成されるが,LNOIは薄膜材料としてリチウムニオバートを使用し,SOIウエファはシリコンを使用する.リチウムニオバートは優れた非線形光学特性を有します量子コンピューティングや高度な光子学などのアプリケーションに適しています -
LNOIウエーファーの使用の主な利点は?
LNOIウエフルの主な利点は,効率的な光調変調を可能にする高電光系数と,機械的な強度,装置の動作中に安定性を確保するこれらの特性により,LNOIウエファは高速光学および量子アプリケーションに理想的です.
