A についてサファイアリフトピン高純度単結晶サファイア (Al2O3) から製造された精密設計部品.半導体処理機器でウェーファーを持ち上げ,位置付け,転送のために設計されています.サファイアリフトピンはCVDで広く使用されていますPECVD,PVD,MOCVD,RTP,拡散,エッチング,エピタキシシステム,高温耐性,化学的安定性,超清潔な性能が不可欠である.
サファイルの特殊な機械的強さと耐磨性のおかげでこれらのリフトピンは,半導体製造プロセス全体で正確なウェーファー処理を保証しながら,粒子生成を最小限に抑えるのに役立ちます..
高品質の光学級の単結晶のサファイアで製造され, 優れた純度,機械的強度, 要求の高い半導体環境での長期的信頼性を提供します.
サファイアは,高温での卓越した寸法安定性と機械的性質を維持し,高温堆積,焼却,熱処理機器に適しています.
材料は腐食性のあるプロセスガス,プラズマ環境,攻撃的な化学物質に対する優れた耐性を示し,部品の使用寿命を大幅に延長します.
モース硬度 9 と着用耐性が優れたサファイアリフトピンは,摩擦による粒子の汚染を軽減し,ウェーファー出力とプロセス一貫性を向上させるのに役立ちます.
各エレベーターピンは 精密加工され 磨き上げられ 検査され 半導体業界の厳格な 尺寸精度と表面仕上げ基準を満たします
| ポイント | 仕様 |
|---|---|
| 材料 | シングルクリスタルサファイア (Al2O3) |
| 純度 | ≥99.99% |
| 結晶の方向性 | C平面,A平面,R平面,またはカスタマイズされた |
| 直径 | カスタム可 |
| 長さ | カスタム可 |
| 直径の許容度 | カスタマイズ可能 |
| 表面塗装 | 精密に磨いた |
| 表面の荒さ | Ra ≤0.02 μm (オプション) |
| 終了形状 | 円形,円形,円形,または個別化 |
| 作業温度 | 高温加工に適した |
| マウントスタイル | プレス・フィット,スレッド,またはカスタム |
オーダーメイドの寸法と許容量は,要求に応じて提供されます.
サファイアリフトピンは,以下に広く使用されています.
1サファイアリフトピンとは?
サファイアリフトピンは,単結晶サファイア (Al2O3) から作られた精密部品で,製造プロセス中に半導体ウエフルを上げ,支え,位置付けするために使用されます.CVDに設置されています高温,化学耐性,低粒子の生成が要求される場合,PVD,PECVD,MOCVD,RTP,およびエッチング機器.
2なぜサファイアがリフトピンに使われるのか?
サファイアには,従来の陶器や金属材料に比べていくつかの利点があります.
この 特性 に よっ て,サファイア は 精密 な 片皿 処理 に 適した 材料 に なり ます.
3サファイアリフトピンを使う半導体機器は?
サファイアリフトピンは,以下に広く使用されています.