詳細情報 |
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Purity: | 99.9% | Color: | Black |
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Density: | 3.14g/cm3 | Poisson's ratio: | 0.17 |
Fracture toughness: | 2~3MPa m1/2 | MPa m1/2: | 4.1 |
ハイライト: | 半導体シリコンカービッドセラミック・トレイ,材料 シリコンカービッドセラミックトレイ |
製品の説明
シリコンカービッドセラミックトレイ 材料のサポートに使用されます 半導体ウエファー 絶好の耐腐食性
シリコンカルビッドセラミックトレイ 短縮
シリコンカーバイド (SiC) 陶器用トレイは,製造過程で半導体ウエフをサポートするために設計された特殊な部品です.これらのトレイは,攻撃的な化学的環境に耐える高い熱安定性と機械的強さは高温アプリケーションで信頼性の高い性能を保証します.エピタキシなどの重要なプロセスに安定したプラットフォームを提供SiCセラミックトレイの汎用性と耐久性は,さまざまな先進的な製造環境で不可欠なものとなり,生産の効率と品質を向上させます.
シリコンカルビッドセラミックトレイのデータグラフ
製造者 | ASUZAC | ASUZAC | 会社A | 会社B | 会社C | |
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製品名 | ASiC | SiC3N | ||||
製造方法 | 通常圧力によるシントリング | 通常圧力によるシントリング | 熱圧 | 心血管疾患 | シ-シ・C | |
密度 | g・cm3 | 3.15 | 3.18 | 3.15 | 3.21 | 3.05 |
ビッカーの硬さ | 28 | 28 | 22 | 26 | ─ ほら | |
柔軟性 | MPa | 410 | 450 | 600 | 590 | 220 |
弾性 | GPA | 430 | 430 | 390 | 450 | 280 |
骨折強度 | MPa/cm^05 | 2.5 | 2.5 | 4.4 | ─ ほら | ─ ほら |
熱膨張 | E-6/K | 4.1 | 4.1 | 4.3 | 4 | 4.8 |
熱伝導性 | W/m•K | 170 | 140 | 230 | 250 | 225 |
シリコンカルビッドセラミックトレイの特性
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高熱安定性
極端な温度に耐えるため,シンタリングや半導体加工などの高温アプリケーションに適しています. -
メカニカル強度:
特殊な強さと硬さを示し,耐久性を提供し,変形や裂け目なく重荷を支える能力を持っています. -
化学耐性
腐食や化学攻撃に強いため,特に化学加工や製造において 攻撃的な環境で使用できます -
熱伝導性:
効率的な熱配分を促し,一貫した加工温度を維持するのに役立ちます. -
低熱膨張:
熱膨張係数が低く,次元安定性を確保し,異なる温度条件下での歪みや裂け込みのリスクを軽減する. -
軽量:
SiCセラミックトレイは強さと耐久性にもかかわらず,比較的軽量で,製造過程で手軽に扱ったり輸送したりできます. -
電気隔熱:
優れた電気隔熱性能を備えており,電気伝導性を最小化することが不可欠な電子アプリケーションに適しています. -
CVDコーティングオプション:
多くのSiCセラミックトレイには化学蒸気堆積 (CVD) コーティングが付いていて,耐磨性が向上し,熱ショックに対する追加の保護を提供します. -
カスタマイズ可能性:
様々なサイズと形状で製造可能で,特定のアプリケーション要件を満たすためにカスタマイズすることができます.
シリコンカービッドセラミック・トレイの用途
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半導体製造:
SiCセラミックトレイは,高品質な結果を確保するために,エピタキシ,拡散,酸化を含む製造プロセス中にシリコンウエファをサポートするために不可欠です. -
高温シンター:
これらのトレイは先進的な陶器の生産に使用され,シンタリングプロセスに必要な極端な温度に耐えられる安定したプラットフォームを提供します. -
化学加工:
優れた化学耐性があるため,SiCトレイは,実験室や工業環境の両方で攻撃的な化学物質を扱うのに理想的です.反応容器や蒸留コラムでよく使われます. -
エレクトロニクス生産:
SiCトレイは,電子機器の製造における基板として使用され,その隔熱特性と熱伝導性は,全体的な性能と信頼性を向上させる. -
オプティカルコンポーネント製造:
SiCトレイは光学部品の製造に使用され,高品質の光学性能に寄与する正確な温度制御を必要とする材料を支える. -
航空宇宙および自動車用途:
SiCセラミックトレイは軽量で強度が高いため,航空宇宙および自動車産業で使用されています.特に,効率的な熱管理と耐腐蝕性を要求する部品では. -
研究開発
R&D環境では,これらのトレイは高温や腐食性物質を含む実験設定に使用され,革新的な材料のテストのための堅牢なプラットフォームを提供します. -
医療機器の製造:
シリコンカービッドトレイは,医療機器の生産に使用され,処理環境で不妊能力と化学耐性を提供しています.
シリコンカービッドセラミックトレイの写真