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概要SiCセラミックフォーク

SiCセラミックフォークアームは,高度なシリコンから作られた構造部品です

カービッドセラミック材料.主に高硬さ,低熱膨張係数,高耐磨性を必要とする精密機器で使用されます."フォークアーム"の形は,一般的に高級の光学装置で見られます半導体処理機器や自動処理システム, サポート,位置付け,伝送,またはクランプ要素として機能します.シリコンカービッドセラミックは,機械性能において重要な利点があります.耐腐蝕性があり,徐々に現代高精密製造における重要な機能的部品になりました.

属性の表SiCセラミックフォーク

SiCセラミックフォークアームの設計と製造

構造設計

SiCフォークアームは,アプリケーション要件に応じてカスタム設計されています.一般的な形態には",U型"または"T型"アームが含まれます.

• ワッフル処理

• 探査カードの位置付け

• オプティカルモジュールサポート

設計における重要な考慮事項には,以下の事項が含まれます.

• 負荷容量とストレスの分布

• 熱圧補償

• 精密マウントインターフェイス

• クリーンルーム互換性

処理技術

製造過程にはいくつかの重要なステップが含まれます.

• 粉末製

• 形付け (乾圧,同静圧,鋳造)

• シンテリング (例えば,圧力なしのシンテリング,反応結合)

• 機械加工 (磨き,レーザー掘削,EDM)

• 表面加工 (磨き,コーティング,レーザーマーク)

SiCセラミックコンポーネントの準備のためのプロセスフロー図

応用シナリオについてSiCセラミックフォーク

半導体機器

SiCセラミックフォークアームは,通常,光立体,エッチング,包装などのプロセスのためのウェーファー処理システムで使用される.利点には以下が含まれます.

• 汚染しない表面

• 高温耐性

• 優れた化学耐久性

• クラス10~1000のクリーンルームとの互換性

下記に用いられる:

• EFEMとFOUPのロードポート

• 6",8"と12"のウエフルの輸送

• バキューム式ピック・アンド・プレイスシステム

 オプティカル システム と 望遠鏡

高精度光学器具では,SiCフォークアームは以下を備えています.

• 鏡やレンズの固い支柱

• 温度変動下で安定した調整

• ダイナミックな位置付けのための軽量構造物

これらの薬は,以下に用いられる.

• インターフェロメーター

• 宇宙望遠鏡

• レーザースキャンシステム

航空宇宙・防衛についてSiCセラミックフォーク

航空宇宙システムでは,SiCフォークアームは

• 振動下での軽量性と硬さ

• 放射線と熱ショックに対する耐性

• 低地球軌道条件における構造安定性

典型的な役割には,ペイロードサポート,ギンバルリンク,光学マウントが含まれます.

ロボットと自動化システム

クリーンルーム自動化環境では,SiCフォークアームがエンドエフェクターまたはグリッパーとして使用され,以下を提示する.

• 導電性のない,粒子を生成しない表面

• 磨きや腐食性のある環境での長寿命

• 真空室での脱ガス抵抗

パーソナライズ & 技術サポート

SiCセラミックフォークアームは,標準ではない精密部品として,通常,ユーザーの要求に基づいてカスタマイズされます.カスタマイズ可能なパラメータには,以下が含まれます.

• 総寸法 (長さ,幅,厚さ)

• オープニングサイズと角度

• 表面の仕上げと荒さ

• 切断器,穴,スロット

• ウェーファー互換性 (6",8",12")

図面のレビュー,機械行動のためのFEMシミュレーション,パフォーマンスと互換性を確保するためのプロトタイプ検証を含むフルサイクルサービスをサポートします.

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