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陶器部品
Created with Pixso.

CVD/SSiC シリコンカービッドトレイ

CVD/SSiC シリコンカービッドトレイ

ブランド名: zmsh
MOQ: 2
価格: by case
パッケージの詳細: カスタムカートン
支払条件: T/T
詳細情報
起源の場所:
中国
材料:
sic
純度:
99.9%
動作温度:
最大1600°C
直径:
利用可能なカスタムサイズ
熱衝撃耐性:
素晴らしい
密度:
2.3 - 3.9 g/cm3
供給の能力:
ケースによって
ハイライト:

CVD シリコンカービッドのウエーファー・トレイ

,

SSiC半導体加工用トレイ

,

シリコンカルビッドセラミック・ウェーファーホルダー

製品説明

1概要


この精密な線形構造の プロセスキャリア・トレイは 特殊な機械的強度 熱安定性サイズ精度多ゾーン環状スロットと 強化された線形支柱肋骨の組み合わせを備えていますトレイは,複雑で要求の高い生産環境で優れたパフォーマンスを提供するように設計されています半導体製造,LEDエピタキシー,先進的なセラミックシンタリング,高温真空加工などの産業は,信頼性,一貫性,そして高出力.



CVD/SSiC シリコンカービッドトレイ 0


トレイの幾何学は,機械的な負荷を均等に分配し,高圧下で構造的硬さを維持するために最適化されています.そして,迅速な加熱と冷却を含む作業中に熱の均一性を向上させる高純度セラミックまたは金属材料と堅牢な加工プロセスと組み合わせたこの製品は,精密駆動製造のために設計された新しい世代の産業用固定装置を表します.




2構造特性と機能設計


2.1 多ゾーン環状スロットフレーム


トレイには,よく分布した環状スロットが数層組み込まれています.これらの同心チャネルは,複数の用途に役立ちます.

  • 体重減少:低質量は回転時の慣性を減らし,全体的な運用効率を向上させる.

  • 熱流の最適化スロットは効果的熱散面積を増加させ,表面全体に均等な温度分布を可能にします.

  • ストレスを軽減する設計断片型パターンは熱力や機械的なストレスの濃度を最小限に抑え,破裂や歪みのリスクを軽減します.

このマルチゾーン構造は,高温シンタリングと半導体プロセスで特に価値があり,熱グラデーションを正確に制御する必要があります.


2.2 強化された半径肋骨網

半径肋骨は,機械的強度を著しく向上させる交叉結合構造の枠を形成する.これらの肋骨は,戦略的に配置されている.

  • 変形なく重荷を支える

  • スピンドルに固定されたときに回転安定性を向上させる

  • 暖房と冷却サイクル中に屈曲または傾斜に抵抗する

  • 長期的に 寸法精度を維持する

環状構造と半径構造の組み合わせにより,高度なバランスのとれた設計が出来,激しい産業環境でもその整合性を維持することができる.


2.3 高精度加工された表面

トレイの表面は,高度なCNC加工と表面調理プロセスを用いて製造されます.これは:

  • 高い平らさ

  • 正確な厚さの均一性

  • 滑らかな負荷接触点

  • 基板や固定装置の摩擦を軽減する

  • 自動機器との一貫した互換性

このような精密加工は半導体および光学用アプリケーションにとって極めて重要です. 小さい偏差でも欠陥や出力損失を引き起こす可能性があります.


2.4 集中式マウントインターフェイス

トレーの核心には,複数の精密な穴からなる特殊なマウントインターフェースがあります.これらの穴は,以下のようなことを可能にします.

  • 回転軸に安装する

  • オーブンや真空室の固定装置との調整

  • 自動ハンドリングシステムの安定位置付け

  • カスタム・エンジニアリング・ツールとの統合

この方法により,トレイは様々な産業作業流程や機器モデルに簡単に適合します.


2.5 外輪の構造強化

外輪には,端を強化し,回転バランスを維持するセグメント強化パッドが含まれています.これは:

  • 振動抵抗

  • 周辺負荷安定性

  • 繰り返された機械的な衝撃下での耐久性

内部肋骨システムと外輪は,長い使用寿命に適した頑丈で安定したキャリアを作り出します.





3異なる用途のための材料のオプション

トレイは,アプリケーション要件に応じて,複数の高性能材料から製造できます.


3.1 シンターシリコンカービッド (SSiC)

  • 極低孔隙性

  • 高熱伝導性

  • 絶好の耐腐蝕性

  • 超清潔な半導体と真空環境に最適


3.2 反応結合シリコンカービッド (RBSiC)

  • 熱ショック耐性

  • 機械的な強度が良い

  • 大量生産ではコスト効率が良い

  • シンテリング炉とLED製造に適している


3.3 アルミナセラミック

  • 1600°Cまで安定している

  • 値段も安くて使い勝手が

  • 一般的な熱負荷と陶器加工に適している


3.4 高強度金属 (アルミニウム/不?? 鋼)

  • 良い加工能力

  • 機械機器,自動化,操作に適した

  • 非熱性または中気温処理に最適

特定の環境条件下で 最大限の性能を保証するために 各材料が選択されます.




4主要な産業用用途


4.1 半導体製造

  • CVDおよびPECVDシステム用のキャリアトレイ

  • 酸化と拡散プロセスのサポートプラットフォーム

  • 焼却と急速熱処理 (RTP) 保持器

  • ワイファー処理と自動化転送ツール


4.2 LEDと光電子生産

  • サファイアとSiCのウエフラーを装着するトレイ

  • 高温基板加工用キャリア

  • 安定した熱プロファイルを必要とする上軸支架プラットフォーム


4.3 先進的な材料加工

  • 粉末金属加工とシンタリング

  • セラミック基板の焼却

  • 高温真空炉用トレイ


4.4 自動化・精密機械

  • 回転式固定装置ディスク

  • アライナインメントベースプレート

  • 装置の設置インターフェース

  • カスタム自動処理キャリバー

その多用性により,熱技術や機械工学の環境の両方に適しています.



5主な利点

5.1 熱効率

  • 均等 な 熱 分配 は 熱点 を 最小 に する

  • 急速な熱循環に適している

  • 高温で精密な作業に最適

5.2 構造の耐久性

  • メカニカルストレスの優れた耐性

  • 負荷や温度変化による変形防止

  • 長期 運用 寿命 は メンテナンス サイクル を 短く する

5.3 プロセスの安定性

  • SiCやセラミクを使用する際に汚染リスクが低い

  • 一貫した寸法精度は,高い製品出力を保証します

  • 真空,惰性,または大気条件に適合する

5.4 パーソナライズ可能

  • 寸法,厚さ,スロット幾何学は,調整することができます

  • 複数の材料が利用可能

  • 中央マウントインターフェイスは,カスタマイズすることができます

  • 表面の仕上げとマークのオプション


よくある質問


1シリコンシロンのセラミックトレイとは?

SiCセラミックトレイは,高純度シリコンカービッドから作られた精密キャリアで,半導体,LED,光学,そして真空加工製造高温,プラズマ,および化学プロセスなどの厳しい環境下で例外的な熱安定性,機械的強度,および変形耐性を提供します.




2石英,石墨,アルミニウムと比べると,SiCトレイの使用の利点は何ですか?

SiCトレイは,いくつかの優れた性能利点を提供します:

  • 高温耐性1600~1800°Cまで,変形なし

  • 優れた熱伝導性均等な熱分布を保証する

  • 優れた機械的強度と硬さ

  • 低熱膨張熱循環中に曲線を防止する

  • 高耐腐食性プラズマガスと化学物質

  • 寿命が長い連続した高ストレス製造条件下




3. SiCセラミックトレイは主にどのような用途に使用されますか?

SiCトレイは,以下に広く使用されています.

  • 半導体ウエファー処理

  • LPCVD,PECVD,MOCVD 熱処理

  • 焼却,拡散,酸化,エピタキシープロセス

  • サファイア・ウェーバー/光学基板の積載

  • 高真空と高温環境

  • 精密CMPまたは磨き用固定装置のプラットフォーム

  • フォトニクスと高度なパッケージング機器




4シリコン電池は 熱ショックに耐えられるのか?

はい,SiCセラミックは低CTEと高い骨折強度により 熱ショック耐性を優れている.高温サイクルプロセスに最適化.


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ZMSHは,特殊光学ガラスと新しい結晶材料のハイテク開発,生産,販売を専門としています. 当社の製品は光学電子機器,消費者電子機器,軍用に使用されています.私たちはサファイア光学部品を提供しています専門知識と最先端機器により,非標準的な製品加工に優れています.,光電子材料のハイテク企業を 目指しています


CVD/SSiC シリコンカービッドトレイ 3