詳細情報 |
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材料: | サファイアの基質の等級 | オリエンテーション: | R軸線 |
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厚さ: | 430um (他の厚さのok) | 表面に: | sspかdsp |
TTV: | <10um | 弓: | <15um |
ゆがみ: | <15um | パッケージ: | 真空のパッケージによる100つの等級のクリーン ルーム |
カスタマイズ: | 普通 | ||
ハイライト: | サファイアのウエファー,サファイア材料 |
製品の説明
GaNのエピタキシアル成長のための特別な <11-20> オリエンテーション <1-102> SSP/<10-10> DSPの軸線のR軸線のM軸線2inch 3inch 4inch 6inchのサファイアの基質のウエファー;
部分のオリエンテーションのための典型的な選択:
ゼロ程度:眺めの方向は水晶の光軸に平行です
90度:眺めの方向は水晶の光軸に垂直です
C軸線:棒では、長さに沿う方向。窓では、表面への方向垂直。
M平面:光学軸(c)を含んでいる平面および30度軸線に傾斜させて
平面:軸線に垂直であるC軸線を含んでいる平面
R平面:平面はM平面と同じ地帯の光学軸に57.5667度を傾斜させました。
任意:部品と結晶のオリエンテーション間に指定関係がありません。部品はオリエンテーションについての心配なしで製造されたです。
サファイアは最も堅い材料の1つで、目に見え、近いIRスペクトルの範囲の間に非常によい伝達を所有しています。それはGaNのエピタキシアル成長の導かれた基質のために広く利用されています;そしてまた赤外線および遠赤外線の軍装置、器具および器械および宇宙技術、および運行および夜赤外線規模のような衛星の宇宙飛行の光学窓として、/視力および夜間視界のカメラ、等。サファイア ガラスの窓はハイテク分野で集中的に加えられます。
2inch軸線のウエファーのための細部
サイズ:2インチのSSP 430 R軸線
材料:泡のないKYのサファイアAl2O3の単結晶;色;
オリエンテーション:、R軸線0.0+/-0.1°を離れてRカット;
直径:50.8 +/-0.2mm;
厚さ:430 ± 15 um;
平たい箱の:16.0 +/- 1.0 mm;
オリエンテーションの:45+/-1deg.左回りにR平面のC軸線の投射から、
表面:SSPのEpi準備ができた磨かれた;
TTVFrontの<>表面の粗さの(Ra)のRAの <>背部表面の粗さの(Ra)のRA = 1.0 +/-0.2um;
端:1mmから;
点検データ
標準的なウエファー 2インチのC平面のサファイアのウエファーSSP/DSP 3インチのC平面のサファイアのウエファーSSP/DSP 4インチのC平面のサファイアのウエファーSSP/DSP 6インチのC平面のサファイアのウエファーSSP/DSP | 特別なオリエンテーション 平面の(1120の)サファイアのウエファー R平面の(1102の)サファイアのウエファー M平面の(1010の)サファイアのウエファー 軸線またはM軸線の方の0.5°~ 10°のoffcutとのC軸線、 他のカスタマイズされたオリエンテーション |
カスタマイズされたサイズ 10x10x0.5mmのサファイアのウエファー 20x20x0.5mmのサファイアのウエファー 超薄い(100um) 2inchサファイアのウエファー 8インチのサファイアのウエファー |
模造されたサファイアの基質(PSS) 2インチのC平面PSS 4インチのC平面PSS |
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MgOの基質2-6inch SiCのウエファー
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