詳細情報 |
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材料: | サファイアの基質の等級 | オリエンテーション: | c軸線 |
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厚さ: | 500um (良い他の厚さ) | 表面: | DSP |
TTV: | <15um | 弓: | <10um |
ゆがみ: | <15um | パッケージ: | 真空パックによる100つの等級のクリーン ルーム |
カスタマイズしなさい: | 受諾可能 | 厚さのtolerannce: | ±15um |
適用: | テスト基質 | ||
ハイライト: | Al2O3水晶サファイアの基質,Cの軸線のサファイアの基質,DSPのサファイアのウエファー |
製品の説明
Al2O3 crystaACl Dia100mmの <0001> M軸線4Inchのサファイアのウエファーの厚さ500UM 600umの倍の側面はSSPかDSPを磨いた
部分のオリエンテーションのための典型的な選択:
なぜサファイアか。
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ゼロ程度:眺めの方向は水晶の光軸に平行である
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90度:眺めの方向は水晶の光軸に垂直である
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C軸線:棒では、長さに沿う方向。窓では、表面への方向垂直。
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M平面:光学軸(c)を含んでいる平面および30度軸線に傾斜させて
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平面:軸線に垂直であるC軸線を含んでいる平面
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R平面:平面はM平面と同じ地帯の光学軸に57.5667度を傾斜させた。
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任意:部品と結晶のオリエンテーション間に指定関係がない。部品はオリエンテーションについての心配なしで製造される。
4inch c軸線のウエファーのための細部
サイズ:4inch DSP 500 C軸線
材料:泡のないKYのサファイアAl2O3の単結晶;色;
オリエンテーション:、M軸線0.0+/-0.2°を離れてCカット;
直径:100.0 +/-0.2mm;
厚さ:600 ± 15 umまたは500±15um;
平たい箱の:16.0 +/- 1.0 mm;または丸型
オリエンテーションの:軸線
表面:磨かれるSSP /dspのEpi準備ができた;
TTVの<>
前部表面の粗さ(RA)のRAの <>
背部表面の粗さ(RA)のRA = 1.0 +/-0.2um;
端:1mmから;

標準的なウエファー
2インチのC平面のサファイアのウエファーSSP/DSP
3インチのC平面のサファイアのウエファーSSP/DSP 4インチのC平面のサファイアのウエファーSSP/DSP 6インチのC平面のサファイアのウエファーSSP/DSP |
特別なオリエンテーション
平面の(1120の)サファイアのウエファー R平面の(1102の)サファイアのウエファー M平面の(1010の)サファイアのウエファー 軸線またはM軸線の方の0.5°~ 10°のoffcutとのC軸線、 他のカスタマイズされたオリエンテーション |
カスタマイズされたサイズ
10x10x0.5mmのサファイアのウエファー 20x20x0.5mmのサファイアのウエファー 超薄い(100um) 2inchサファイアのウエファー 8インチのサファイアのウエファー |
模造されたサファイアの基質(PSS)
2インチのC平面PSS 4インチのC平面PSS |
2inch |
DSP C-AXIS 0.1mm/0.175mm/0.2mm/0.3mm/0.4mm/0.5mm/1.0mmt SSPのC軸線0.2/0.43mm (DSP&SSP) axis/M axis/R軸線0.43mm
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3inch |
DSP/SSPのC軸線0.43mm/0.5mm
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4Inch |
dspのc軸線0.4mm/0.5mm/1.0mm sspのc軸線0.5mm/0.65mm/1.0mmt
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6inch |
sspのc軸線1.0mm/1.3mmm
dspのc軸線0.65mm/0.8mm/1.0mmt
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