詳細情報 |
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材料: | SiCの単結晶4h-N | グレード: | 生産品種 |
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Thicnkss: | 1.5mm | Suraface: | DSP |
適用する: | エピタキシアル | 直径: | 4inch |
色: | 緑色 | MPD: | <1cm-2 |
ハイライト: | 4h-N SICのウエファー,4H-N炭化ケイ素のウエファー,1.5mmの炭化ケイ素のウエファー |
製品の説明
カスタムサイズ/2インチ/3インチ/4インチ/6インチ 6H-N/4H-SEMI/ 4H-N SICインゴット/高純度 4H-N 4インチ 6インチ直径 150mm シリコンカービード単体
シック・ウェーバー 4インチ プライム・リサーチ・マニュメント グレード 4H-N/SEMI 標準サイズ
シリコンカービッド (SiC) クリスタルについて
シリコンカービッド (SiC) は,カーボリンダムとしても知られており,化学式SiCを持つシリコンと炭素を含む半導体である.SiC は,高温または高電圧で動作する半導体電子機器で使用されますSiCはLEDの重要な構成要素の一つであり,GaN装置を育てるための人気のある基板であり,高功率LEDの熱分散器としても機能する.
資産 | 4H-SiC シングルクリスタル | 6H-SiC シングルクリスタル |
格子パラメータ | a=3.076 Å c=10.053 Å | a=3.073 Å c=15.117 Å |
積み重ねの順序 | ABCB | ABCACB |
モース硬さ | ≈92 | ≈92 |
密度 | 3.21g/cm3 | 3.21g/cm3 |
熱 膨張係数 | 4〜5×10〜6/K | 4〜5×10〜6/K |
屈折指数 @750nm |
2 は 2 です.61 |
2 は 2 です.60 |
ダイレクトリ常数 | c~966 | c~966 |
熱伝導性 (N型,0.02オム/cm) |
a~4.2 W/cm·K@298K |
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熱伝導性 (半絶縁) |
a~4.9 W/cm·K@298K |
a~4.6 W/cm·K@298K |
バンドギャップ | 3.23 eV | 3.02 eV |
断裂する電場 | 3〜5×106V/cm | 3〜5×106V/cm |
飽和漂流速度 | 2.0×105m/s | 2.0×105m/s |
4H-N 4インチ直径 シリコンカービッド (SiC) 基板仕様
2インチ直径 シリコンカービッド (SiC) 基板仕様 | ||||||||||
グレード | MPDグレードはゼロ | 生産級 | 研究級 | ダミーグレード | ||||||
直径 | 100. mm±0.5mm | |||||||||
厚さ | 350μm±25μmまたは500±25μm または他のカスタマイズされた厚さ | |||||||||
ウェファーの方向性 | 軸外: 4H-N/4H-SI の場合は <1120> ±0.5° 6H-N/6H-SI の場合は <0001> ±0.5° | |||||||||
マイクロパイプ密度 | ≤0cm-2 | ≤1cm-2 | ≤5cm-2 | ≤10cm-2 | ||||||
耐性 | 4H-N | 0.015~0.028 Ω•cm | ||||||||
6H-N | 00.02~0.1 Ω•cm | |||||||||
4/6H-SI | ≥1E5 Ω·cm | |||||||||
主要フラット | {10-10} ±5.0° | |||||||||
主要平面長さ | 18.5 mm±2.0 mm | |||||||||
二次平面長さ | 10.0mm±2.0mm | |||||||||
二次的な平面方向性 | シリコンが上向き: プライムフラットから90°CW ±5.0° | |||||||||
エッジ除外 | 1mm | |||||||||
TTV/Bow/Warp | ≤10μm /≤10μm /≤15μm | |||||||||
荒さ | ポーランド Ra≤1 nm | |||||||||
CMP Ra≤0.5 nm | ||||||||||
高強度の光による裂け目 | ない | 1 は許容され, ≤2 mm | 累積長 ≤ 10mm,単一の長 ≤ 2mm | |||||||
高強度光によるヘックスプレート | 累積面積 ≤1% | 累積面積 ≤1% | 累積面積 ≤3% | |||||||
高強度光による多型エリア | ない | 累積面積 ≤2% | 累積面積 ≤5% | |||||||
高強度の光による傷 | 3 傷 1 × ワッフル直径の累積長 | 円盤直径の累積長に 5 割れ | 円盤直径の累積長に 5 割れ | |||||||
エッジチップ | ない | 容量 ≤0.5mm | 容量5個,それぞれ ≤1mm | |||||||
生産展示ショー

4H-N型/高純度SiCウエファー/インゴット
2インチ4H型N型SiCウエファー/インゴット
3インチ4H型N型SiCウエファー 4インチ4H型N型SiCウエファー/インゴット 6インチ4H型N型SiCウエファー/インゴット |
4H 半断熱/高純度SiCウエーファー 2インチ4H 半絶縁型シシクワフラー
3インチ4H 半絶縁型SiCウエファー 4インチ4H 半絶縁型SiCウエファー 6インチ4H 半絶縁型シリコン・ウェーバー |
6H N型 SiCウエーファー
2インチ 6H N型 SiCウエファー/インゴット |
2-6インチのカスタムサイズ
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SiC 応用
応用分野
- 1 高周波および高電力電子装置 ショットキーダイオード,JFET,BJT,PiN
- ディオード,IGBT,MOSFET
- 2 光電子装置: 主にGaN/SiCブルーLED基板材料 (GaN/SiC) のLEDで使用
>包装 物流
包装の細部をすべて取り扱います 清掃,防静止,ショック処理
商品の量と形状に応じて,私たちは異なるパッケージングプロセスをします! ほぼ単一のウェッファーカセットまたは25pcsカセットで100グレードのクリーニングルーム.
量によって