6インチ350um 0.5mmtのサファイアのキャリアの基質のウエファーSSP DSP

製品の説明

6 インチ 153 ミリメートル 156 ミリメートル 159 ミリメートル厚さ 350um 0.5mmt サファイアキャリア基板ウェハ SSP DSP

製品説明：

サファイアボンディングシートは、ガリウムヒ素ウェーハの薄化と研磨に使用されます。 従来のガリウムヒ素ウェーハの薄化プロセスでは、装置の重さと圧力によりウェーハの破片が発生したり、薄化中に表面応力が蓄積してコイルが形成されたりすることがありました。製品の性能が著しく損なわれます。薄化に使用される金属ディスクは金属汚染を発生しやすく、ウェーハ接着剤や化学研削液も汚染を引き起こしやすいです。

新しい薄化プロセスでは、サファイア ウェーハ（ターゲット ウェーハよりわずかに大きい直径）をキャリアとして使用し、高温条件下でガリウム ヒ素ウェーハと接合します。ガリウムヒ素/サファイアの接合ウェーハはセラミックディスクに取り付けられ、特殊な治具で薄められ研磨され、その後高温洗浄で溶かされてサファイアとガリウムヒ素ウェーハが分離されます。

新しい薄化プロセスは、ガリウムヒ素や各種半導体ウェーハの薄化処理に使用でき、キャリア材料にはサファイア、ガラスなどの研磨ウェーハを使用できます。

サファイアは、その優れた物理的および化学的特性と結晶構造により、キャリアの主流の選択肢となっています。当社が発売したサファイアキャリアは、4インチで直径104mmの業界標準の薄化装置要件に適合します。6インチウェーハは、直径が156mmまたは159mmと標準的な4インチウェーハや6インチウェーハよりも若干大きく、研磨面粗さも異なります。

製品仕様書

素材：＞99.99%高純度アルミナ結晶（バブル法）

結晶方位：C面(0001)

直径：

76.2mm（3インチスライドサイズ可変）

104mm（4インチスライドサイズ可変）

159mm（6インチスライドサイズ可変）

厚さ: カスタム

研磨：両面研磨

CMP研磨面粗さ：Ra 総厚み公差 TTV

アプリケーション:

ZMSH のサファイア ウェーハ: 中国製のクリスタルクリアな品質

中国からの高品質サファイア ウェーハをお探しですか?ZMSH のサファイア基板以外に探す必要はありません。当社のサファイア ウェーハは 2 インチ、4 インチ、および 6 インチのサイズがあり、片面研磨表面が特徴で、平坦度は λ/10@633nm です。厚さは 0.5mm ～ 2mm で、平行度は 3 秒角です。当社のサファイア ウェーハは、非常に透明な品質と最高のパフォーマンスを提供します。ZMSH のサファイア基板から信頼性の高いサファイア ウェーハを最大限に活用してください。

 

技術パラメータ:

製品の属性	技術仕様
材料	Al2O3 99.999%
クリアアパーチャ	>90%
表面品質	片面研磨
基板の種類	単結晶
サイズ	2インチ 3インチ 4インチ 6インチ 8インチ 12インチ
表面粗さ	Ra<0.5nm
面の配向	±0.5°
平行度	3秒角
厚さ	0.5～2mm
直角度	3秒角

 

カスタマイズ:

の紹介ZMSHサファイア基板、C プレーン M プレーンのアプリケーションに最適です。弊社のサファイア基板は中国で製造された優れた TTV を備えた<5μmと±0.5°表面の向き。クリア絞りは、>90%、直角度は3秒角。の厚さで0.5～2mm、この基板は、C プレーン M プレーンのニーズに最適です。ZMSH サファイア基板を今すぐ入手してください。

梱包と配送:

サファイア基板の梱包と発送

サファイア基板製品は、安全かつ効率的な配送を確保するために、保護用気泡緩衝材、フォーム、段ボール箱でしっかりと梱包されています。すべての荷物は、タイムリーで破損のない配送を保証するため、信頼性が高く追跡可能な宅配便サービスを通じて発送されます。

海外からの注文の場合、すべての荷物は国際税関を通過する必要があり、追加料金や税金が課される場合があります。適用される関税、関税、税金についてはお客様の責任となります。