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詳細情報 |
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| 起源の場所: | 中国 ZMSH | 化学組成: | SiCで覆われたグラフィット |
|---|---|---|---|
| 折りたたみ力: | 470Mpa | 熱伝導性:: | 300 W/mK |
| 機能: | CVD-SiC | 密度: | 3.21g/cc |
| 熱拡張: | 4 10-6/K | 灰: | <5ppm |
| HSコード: | 6903100000 | 熱伝導性:: | 116 W/mK (100 kcal/mhr-°C) |
| ハイライト: | ICPエッチング シリコンカービッドトレイ,MOCVD サスペクター シリコンカービッドトレイ,耐着性シリコンカービッドトレイ |
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製品の説明
シリコン・カービッド・トレイ シリコン・ウエーファー ICPエッチング用のトレイプレート MOCVD 耐磨性
記述
SICで覆われたグラフィットトレイは高純度グラフィットマトリックスから作られ,CVD (化学蒸気堆積) によるSiCコーティングを受け,極めて高純度と理論密度を有する.このCVD SiCコーティングは 極めて硬い超高純度と著しい耐磨性を表す 鏡のような仕上げに磨き上げることができます.これらのコーティングトレイは高真空と高温環境で優れています.半導体産業やその他の超清潔な環境に最適化半導体ウエフルの上位軸層形成のための基板として主に使用され,超高純度表面と優れた耐磨性などいくつかの利点があります.CVDで最小孔のSiCコーティングとシリコンカービッドの磨きやすい性質を保証する,これらの製品は,MOCVDトレイ,RTP,オキシドエッチング室を含む半導体産業で広く使用されています.シリコンナイトリドの優れた熱衝撃耐性とプラズマ耐久性により.
製品展示会
製品特性
- 超高純度
- 熱ショック耐性
- 優れた物理的な衝撃耐性
- 複雑な形状の加工能力
- 優れた化学安定性
- 酸化する大気中に使えます
| ポイント | ユニット | 技術パラメータ | |
|---|---|---|---|
| 鉄筋 | - そうだ | SSiC | シシC |
| 色 | - そうだ | ブラック | ブラック |
| 密度 | g/cm3 | 3.12 | 3.06 |
| 水吸収 | % | 0 | 0 |
| HRA | - そうだ | ≥92 | ≥90 |
| 弾力度モジュール | GPA | 400 | 350 |
| 折りたたみ力 (@R.T.) | MPa | 359 | 300 |
| 圧縮力 (@R.T.) | MPa | ≥2200 | 2000 |
| 熱伝導性 (@R.T.) | W/Mk | 110 | 100 |
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熱膨張係数 (20〜1000°C) |
10-6/°C | 4.0 | 4.0 |
| マックス 作業温度 | °C | 1500 | 1300 |
製品使用
ICP エッチング:シリコン・カービッド・トレイは,半導体・ウェーファーを保持し加工するための堅牢なプラットフォームとして機能するICP (インダクティブ・カップル・プラズマ) エッチングシステムの重要な部品です.耐磨性 の 特質 は,切削 過程 で 長く 信頼性 と 一貫性 を 確保 するワッフル上の正確なパターン転送と表面変更に貢献します.
MOCVD 容疑者:MOCVDシステムでは,シリコンカービッドトレイは受容体として作用し,半導体基板に薄膜の堆積のための安定したサポートを提供します.高度な純度を維持し,高温に耐える能力を持つトレイは,優れた品質と均一性を持つ上軸層の成長を促進するために理想的です.
耐磨性:SiC コーティングで装備されたこれらのトレイは,特殊な耐磨性を示し,厳しい運用条件でも使用寿命を延長します.耐磨 や 化学 分解 に 耐える もの で,生産 性 が 向上 し,停滞 期間 が 少なく なり ます半導体製造環境では不可欠です
SICで覆われたグラフィットトレイは,熱処理中に半導体ウエフルの固定と加熱のためのベースとして使用されます. エネルギーは吸収され,インダクション,伝導,または放射線によってチップを加熱することができます.熱ショック耐性熱伝導性と純度が急速な熱処理 (RTP) に不可欠である.シリコンエピタキシープロセスでは,ウエファーはベースに運ばれ,ベースの性能と質は,ウエフルの上軸層の質に決定的な影響を及ぼします.
Q&A
グラフィット受容体とは?
グラフィット材料のサスペクターとマフル熱装置からの直接熱放射線などの外部の影響からシンターを保護する.熱帯電池は,自発的に熱を吸収し,熱を均等に部品に放出します.
SiCコーティングとは?
シリコンカービードコーティングとは?密集した耐磨性シリコンカービッド (SiC) コーティング化学蒸気堆積 (CVD) プロセスを用いて,薄層のSiCをグラファイトに塗り込みます.申請.
シリコンカービッドグラフィットとは?
SiC30 - シリコンカービッド・グラフィット複合材料
SiC30 はシリコンカービードとグラフィットから構成された特殊な複合材料他の材料では解決できない問題を解くことができます製品
製品推奨
1SIC シリコンカービッド・ウェーファー 4H - Nタイプ MOSデバイス用 2インチ Dia50.6mm ((詳細は画像をクリックしてください)
警告
製品オプションの詳細については,ご連絡ください.
キーワード:
- シリコン・カービッド・トレイ
- SiCコーティング
- CVD (化学蒸気堆積)
- 高度な純度
- 耐着性
- 半導体産業
- エピタキシャル層
- MOCVD
- 熱ショック耐性
- カスタマイズできるオプション