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シリコン・カービッド・トレイ シリコン・ウエーファー ICPエッチング用のトレイプレート MOCVD 耐磨性

シリコン・カービッド・トレイ シリコン・ウエーファー ICPエッチング用のトレイプレート MOCVD 耐磨性 記述 SICで覆われたグラフィットトレイは高純度グラフィットマトリックスから作られ,CVD (化学蒸気堆積) によるSiCコーティングを受け,極めて高純度と理論密度を有する.このCVD SiCコーティングは 極めて硬い超高純度と著しい耐磨性を表す 鏡のような仕上げに磨き上げることができます... もっと眺め
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