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詳細情報 |
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| 直径: | 6インチ | タイプ/ドーパント:: | N型/Pドーピング |
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| オリエンテーション:: | <1-0-0>+/−5度 | 厚さ:: | 2.5±0.5μm |
| 抵抗:: | 1〜4オムセンチメートル | 終わって: | 前面が磨かれた |
| 埋葬された熱酸化物: | 1.0um +/- 0.1um | ハンドル・ウエフラー:: | <1-0-0>+/−5度 |
| ハイライト: | 625um SOI ウェーバー,Pドーピングされた SOI ウェーバー |
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製品の説明
シリコン・オン・イソレーターSOI・ウェーファー 6", 2.5"m (Pドーピング) + 1.0 SiO2 + 625um Si (P型/ボロンドーピング)
シリコン・オン・イソレーター (SOI) ウェーファー 抽象
このシリコン・オン・イソレーター (SOI) ウェーファーは,高度な電子および微電子機械システム (MEMS) 向けに設計された特殊な半導体基板である.ウェファーは,デバイスのパフォーマンスを向上させる多層構造で特徴付けられています,寄生体容量を減少させ,熱隔離を向上させ,幅広い高性能および高精密アプリケーションに理想的な選択になります.
シリコン・オン・イソレーター (SOI) ワッフル製品特性
ワファの仕様:
- ワッフル直径: 6 インチ (150 mm)
- 6インチ直径は,デバイス製造のための大きな表面面積を提供し,製造効率を向上させ,生産コストを削減します.
デバイス層:
- 厚さ: 2.5 マイクロメートル
- 薄いデバイス層により,高速で高性能なアプリケーションに不可欠な電子特性の正確な制御が可能になります
- ドーピング:P型 (酸化リンを含む)
- リンゴドーピングは装置層の電導性を向上させ,様々なp型半導体装置に適している.
埋葬酸化物 (BOX) 層:
- 厚さ: 1.0 マイクロメートル
- 厚さ1.0μmのSiO2層は,デバイス層とハンドル・ウェーファー間の優れた電気隔離を提供し,寄生電容量を削減し,信号の整合性を向上させる.
ハンドル・ウェーファー:
- 厚さ: 625 マイクロメートル
- 厚いハンドルウエファーは製造と操作中に機械的な安定性を確保し,歪みや破損を防ぐ.
- タイプ:P型 (ボロンドーピング)
- ボロンドーピングは,ハンドル・ウエファーの機械的強度と熱伝導性を向上させ,熱を散布し,デバイスの全体的な信頼性を向上させます.
| デバイス層 | ||
| 直径: | 6インチ | |
| タイプ/ドーパント: | N型/Pドーピング | |
| オリエンテーション: | <1-0-0>+/−5度 | |
| 厚さ: | 2.5±0.5μm | |
| 抵抗性: | 1〜4オムセンチメートル | |
| 終わって | 前面が磨かれた | |
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埋葬された熱酸化物 |
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| 厚さ: | 1.0um +/- 0.1um | |
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ハンドル・ウエフラー: |
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| タイプ/ドーパント | P型,B型 ドーピング | |
| オリエンテーション | <1-0-0>+/−5度 | |
| 抵抗性: | 10〜20オムセンチメートル | |
| 厚さ: | 625 +/- 15ミリ | |
| 終わって | 受け取ったまま (磨かれていない) | |
主要な製品特性:
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高品質のデバイス層:
- キャリア・モビリティ: リンが多量化された層の高いキャリア移動性は,電子反応の迅速さと高速操作を保証します.
- 欠陥密度が低い: 高品質の製造プロセスにより,欠陥が最小限に保たれ,性能が向上し,生産量が向上します.
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効率的な電気隔離:
- 寄生虫の低容量:BOX層は,デバイス層を基板から効果的に隔離し,高周波および低電力アプリケーションにとって不可欠な寄生容量とクロスストークを削減します.
- 信号の整合性: 強化された電気隔離は,高精度アナログおよびデジタル回路にとって不可欠な信号の整合性を維持するのに役立ちます.
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熱管理:
- 熱伝導性: ボロンでドーピングされたハンドルウエーフは熱伝導性が良好で,装置の動作中に発生する熱を散らすのに役立ちます. これにより過熱を防止し,安定したパフォーマンスを保証します.
- 熱耐性: ウェファーの構造と材料により,加工と操作中に高温に耐えるようにしています.
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機械的安定性:
- 頑丈さ: 厚いハンドル・ウエファーは機械的なサポートを提供し,製造過程中および動作ストレスの下でウエファが安定していることを保証します.
- 耐久性: ハンドル・ウエファーの機械的安定性により,損傷を防止し,ウエファーの破損のリスクを軽減し,デバイスの全体的な長寿を向上させます.
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応用の多様性:
- 高性能 コンピューティング: プロセッサや他の高速デジタル論理回路に適しており,高いキャリア移動性と低い寄生容量により適しています.
- 5G通信: 優れた電気隔離と熱管理特性から恩恵を受け,RFコンポーネントと高周波信号処理に最適です.
- MEMS装置:MEMS製造に最適で,マイクロ製造構造に必要な機械的な安定性と精度を提供します.
- アナログおよび混合信号回路:低騒音と低交差音が高精度アナログ回路に適している.
- 電力電子機器: 強固な熱と機械特性により,高効率と信頼性を要求する電力管理アプリケーションに適しています.
結論
このシリコン・オン・イソレーター (SOI) ワッフルは 高品質の材料と 先進的な製造技術が 独特に組み合わせられ 電気性能が優れている基板を生み出します熱管理これらの特性により,幅広い高性能電子およびMEMSアプリケーションに理想的な選択になります.次世代の半導体装置の開発を支援する.
シリコン・オン・イソレーター (SOI) ウェーファー 製品写真
Q&A
SOI (シリコン・オン・アイソレーター・ウェーファー) は何ですか?
シリコン・オン・イソレーター (SOI) ウェーバーは,薄いシリコン装置層,隔離酸化物層,そして,サポートするシリコンハンドル・ウーファーこの構造は,よりよい電気隔離,寄生容量削減,熱管理を改善することによって半導体装置の性能を向上させます.
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