BF33 ガラスウエファの導入

BF33ガラスウエーファー (BOROFLOAT 33またはBF 33として知られている) は,SCHOTTが製造するプレミアムボロシリケート浮遊ガラスウエーファーで,例外的な熱,光,化学,そして機械的特性名称の"33"は,その熱膨張係数 (CTE) が約3.3ppm/°Cであることを表しています.これは,シリコンと密接に一致する特性です.半導体およびマイクロ電子アプリケーションの好ましい選択になります.

BOROFLOAT 33は,SCHOTTの先駆的なマイクロフロートプロセスを用いて作られ,鏡のような表面質,高い平ら性,最小の微小粗さ,素晴らしい光学的な透明性があります.

BF33 ガラスウエフルの材料組成と構造的整合性

BF33のガラスの組成は,約:

• SiO2

• B2O3

• Na2O/K2O

• アル2O3 

この配列は以下の主要な利点をもたらします

• 低密度軽量な層構造 (弾弾性ガラスなど) を可能にする.

• 低アルカリ量解析装置や生物医学機器の溶解を軽減し,測定時の干渉を最小限に抑える.

BF33 ガラスウエフルの熱・機械特性

熱性能

• 熱膨張係数 (CTE)≈3.25 ppm/°C 密かに一致するシリコンは,温度変化時の最小限のストレスを確保し,アノード結合のようなプロセスには不可欠です.

• 耐熱性: 長期使用では最大450°C,短期使用では500°C (<10h).

• 熱ショック耐性: 低CTEと構造的整合性により,急速な温度変動に優れた耐性を有し,裂け目や歪みを防止します.

メカニカル 強さ

• 硬さ:高ノップ硬さ (≈ 480 HK) と強固な磨き耐性,通常のソーダ石灰ガラスを大幅に上回る.

• エラスティックモジュール: 約64kN/mm2で,ポイスン比は0周りのものです.2.

• これらの特性により,BF33は浸透,掻き,機械的な磨きに強く抵抗する.

BF33 ガラスウエフルの光学および化学特性

オプティカル特性

• 高透明性UV,可視波長,近IR波長で,非常に低い自己発光性がある.高精度の光学および分析システムに最適です.

• 紫外線伝播厚さ0.5mmでは, 308nmでは伝導性が> 90%で,248nmでは依然として> 35%で,他の薄いガラス材料を大幅に上回る.

化学 耐久性

• 水,強い酸,アルカリ,有機溶媒に対する優れた耐性により,BF33は湿地エッチング,CMP,または分析機器などの厳しい化学環境に特に適しています.

• 水解性および腐食性ISO/DIN 標準に従ってクラス 1 に指定されています.

BF33 ガラスウエファの表面品質と製造

多くのサプライヤーは双面に磨いた (DSP)BF33ウエファは,表面の粗さが1ナノメートル以下 (<1nm Ra),TTVが10μm以下 (<10μm) で,欠陥が少ない仕上げ (例えば,スケッチ/掘削60/40),要求の高いマイクロファブリケーション要件に適しています.

特殊なスプレーと結合互換性を保証する,特にアノード結合,レーザー脱結合そして光学装置表面の質が重要な場所です

BF33 ガラスウエフルの典型的な用途

BF33の特殊な特性により,様々な領域で利用できる素材です.

• 半導体とマイクロ電子: キャリア・ウェーバー,シリコンとのアノード結合,ウェーバー薄化,マイクロ流体学,MEMS,光学センサー,そしてラボ・オン・チップ装置.

• オプティクス&フォトニクス: レーザー光学,フィルター,鏡,顕微鏡スライド,高温環境における光学

• 分析学と生物医学バイオチップ,定位プレート,マイクロ流体システム,診断ツール:低自発発光と化学的純度により

• 産業用用途: 高温光学,炉窓,投光灯カバー,化学反応炉の視界鏡

• エネルギーと環境技術: 太陽光発電システム,環境センサー,微流体環境監視装置のための基板.

• 航空宇宙・防衛: 耐久性があり 熱安定性のある部品 計器パネル,センサー窓,宇宙光学など

BF33 ガラスウエフルの概要と利点

BF33 / BOROFLOAT 33 ガラスのウエファーは,比類のない性質の組み合わせを提供しています:

これらの属性は,信頼性,精度,耐久性が不可欠なアプリケーションのための汎用的で高性能な基板にします.

BF33ガラスウエフルの結論

BF33/BOROFLOAT 33 ガラスウエファは,SCHOTTのマイクロフロートプロセスで設計されたトップレベルのボロシリケートガラス基板として注目されています.高質の光学化学的惰性,機械的強度,表面の卓越性により,先進的な半導体パッケージから最先端の光学システムまで,バイオメディカル機器航空宇宙技術について

BF33ガラスウエフルのよくある質問 (FAQ)

BF33ガラスとは?

BF33,BOROFLOAT 33としても知られており,SCHOTTの独占マイクロフロートプロセスを用いて製造された高品質のボロシリケート浮遊ガラスです.低熱膨張 (~3.3 × 10−6 K−1),高熱衝撃耐性耐久性も高い.半導体,マイクロ流体,光学用に使用される.

BF33と普通のガラスの違いは何ですか?

ソーダ石灰ガラスとは異なり,BF33は80%以上のシリカと相当量のボロン酸化物を含んでいる.

• 熱膨張を減らし 温度サイクルで割れ目を防ぐ

• 酸,塩基,溶媒に対する化学的抵抗を高めます

• 紫外線と赤外線の伝達力を向上させる

• 機械的な強度や 摩擦抵抗を高めます

なぜBF33ガラスは半導体およびMEMS製造に広く使用されているのか?

その熱膨張は,シリコンに匹敵し,ストレスのないアノード結合を可能にします. さらに,その化学的耐久性は,濡れたエッチング,CMP,劣化しない他のクリーンルームプロセス.

BF33のガラスのウエーフは磨けるの?

はい.BF33ウエファは,表面荒さ < 1 nm Ra と総厚さ変動が低い (TTV) のDSP (ダブルサイド・ポーリング) またはSSP (シングルサイド・ポーリング) としてしばしば供給されます.これは,光立体とウエファー結合に不可欠です..

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