溶融シリカ (Fused Silica) は石英 (SiO2) の無形相である. 溶融シリカは,ボロシリケートガラスとは対照的に添加物を持たない.したがって,純粋な形態であるSiO2で存在する.溶融したシリカは,通常のガラスと比較して赤外線と紫外線スペクトルでより高い伝播率を持っています溶融したシリカは,超純粋なSiO2を溶かして再固化することによって生成される.一方,合成溶融シリカは,H2 + O2大気の中でガス化され,それから酸化されるSiCl4のようなシリコン豊富な化学的前体から作られています.この場合形成されるSiO2粉末は基板上でシリカに溶解される.溶解したシリカブロックは,ウエファーに分割され,その後ウエファが最終的に磨かれる.
JGS1,JGS2とJGS3は,高純度溶融シリカの3つの特殊なグレードで,それぞれが異なる波長範囲で最適な性能のために設計されています.優れた光学伝送を可能にしますこの材料は,レーザーシステム,スペクトロスコピー,半導体処理,赤外線イメージング,精密計測に広く使用されています.
この3つのグレードは,より高い純度と均質性を持つ無形SiO2をベースにしているが,主な違いはスペクトル範囲とOH含有量制御で,異なるUV,見えるIR アプリケーション
波長伝送範囲:185~2500 nm
主要なメリット超紫外線 (DUV) の 異常な 伝播
JGS1は,深紫外線スペクトルで優れた伝達を必要とするアプリケーションのために設計された高級UVグレードの溶融シリカです.超低金属性不純物と制御されたヒドロキシル (OH) 含有量で生産紫外線レーザー照射下で最小限の吸収と高い安定性を提供します.
JGS1の主要な光学特性
200nm以上から高い伝播率 (>90%)
低発光で太陽光照明が少ない
エキシマーレーザー波長のレーザーダメージの高値です
精密磨き後に達成できる優れた表面品質.
JGS1の典型的な用途:
エクシマーレーザー光学 (193nm,248nmシステム)
フォトリトグラフィーの投影レンズとマスク
紫外線等級の窓とプリズム
高性能の紫外線スプリッタ
紫外線分析のための科学機器
波長伝送範囲:220~3500 nm
主要なメリット視界 (VIS) から近赤外線 (NIR) までのバランスの取れた性能
JGS2は,可視および近赤外線アプリケーションに最適化された汎用光学グレードの溶融シリカです.しかし,その主な強みは,VISNIRスペクトルにおける高伝達性と低波面歪みにある..
JGS2の主要な光学特性:
可視光スペクトル全体で 高い伝達性がある
紫外線透明性は ~220nmまで良い.
熱耐性と機械的な強度が優れています
均質な屈折率で最小の二重屈折率
JGS2の典型的な用途:
精密画像レンズと窓
VISNIR波長のためのレーザーシステム光学
光学顕微鏡と投影システム
測定装置のためのビームスプリッタ,フィルター,プリズム.
高エネルギーレーザー環境における保護光学
波長伝送範囲:260~3500 nm
主要なメリット強化された赤外線 (IR) 伝送と減少したOH吸収ピーク
JGS3は,IR関連アプリケーションのために特別に設計されている.生産プロセスは,吸収帯を ~2.73μmと ~4.27μmに削減し,水酸化基の含有量を最小限に抑える.標準溶融シリカに共通しているものこれはJGS3を赤外線光谱学と熱画像学において特に価値あるものにする.
JGS3の主要な光学特性:
低吸収損失で高いIR伝播
OH関連吸収帯の減少
熱と化学の耐性が優れている
繰り返し加熱サイクル中の安定した光学特性.
JGS3の典型的な用途:
紫外線スペクトロメーターの窓とクベット
熱画像カメラの光学
IRセンサーの保護窓
工業用高温観測ポート
光ファイバーのIR通信部品
適正なグレードを選択するのに,以下は比較要約です.
| 資産 / グレード | JGS1 | JGS2 | JGS3 |
|---|---|---|---|
| 主波長範囲 | 185~2500 nm | 220~3500 nm | 260~3500 nm |
| 紫外線伝播 | すごい | 良かった | 限定 |
| 視覚的な伝播 | すごい | すごい | すごい |
| IR 送信 | 良かった | 良かった | すごい |
| OH 含有量 | 低い | スタンダード | 非常に低い |
| 典型的な用途 | 紫外線レーザー,リトグラフィー,スペクトロスコピー | 一般光学,VISNIRレーザー | IR光学,熱画像 |
原材料浄化 超高純度SiO2原料のみを使用する.
制御された融解 最小限の包容と泡を保証します.
焼却 低二折り率を維持するために内部ストレスを除去します.
精密な形付け 精密な寸法のためのダイヤモンドツールを使用する.
超細工 表面荒さ <5 Å RMS を達成する.
スペクトルテスト 伝播曲線を確認するためにスペクトロフォトメーターを使用する.
Q1: JGS1,JGS2,JGS3のメルトシリカの主な違いは何ですか?
A: その通り
JGS1超高紫外線伝達力 (深紫外線伝達力185~2500nm) の優れたUVグレードの溶融シリカで,エクシマーレーザー,リトグラフィ,UVスペクトロスコピーに最適です.
JGS2光学グレードの溶融シリカで,可視線から近赤外線 (220~3500nm) のアプリケーションに最適化されており,汎用精密光学に最適です.
JGS3IRグレードの溶融シリカで,赤外線伝達 (260~3500nm) が強化され,OH吸収ピークは最小で,IRスペクトロスコピーおよび熱画像に使用される.
Q2:JGS1,JGS2,JGS3のどちらかを選べますか?
A: その通り波長範囲に合わせて:
選択するJGS1システムが主にUVスペクトル (< 250 nm) で動作する場合は
選択するJGS2ご希望のアプリケーションが可視線または近赤外線範囲に属している場合
選択するJGS3紫外線焦点設計では,特にOH吸収減少が重要である場合.
Q3:JGS1,JGS2,JGS3は高性能レーザーシステムで使用できますか?
A: その通りはい.この3つのグレードは,レーザーダメージの高値 (>1064nm,10nsパルスで20J/cm2) と優れた熱耐性を持っています.しかし,エクシマーレーザー (193nm,248nm) では,JGS1紫外線抵抗性が優れているため,好ましい選択です.
Q4: JGS1,JGS2,JGS3の化学耐久性は異なっていますか?
A: その通りこの3つのグレードは,溶融したシリカに固有の同じ化学的安定性を共有し,水,酸,水,水素酸と熱濃縮アルカリを除くほとんどの化学物質に優れた耐性を持っています.
ZMSHは,特殊光学ガラスと新しい結晶材料のハイテク開発,生産,販売を専門としています. 当社の製品は光学電子機器,消費者電子機器,軍用に使用されています.私たちはサファイア光学部品を提供しています専門知識と最先端機器により,非標準的な製品加工に優れています.,光電子材料のハイテク企業を 目指しています
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