溶けたクォーツ・ウェーファー 高純度熱安定性と高度なアプリケーションのための光学透明性

溶融クォーツウエフルの製品概要

溶融シリカ (Fused Silica) は石英 (SiO2) の無形相である. 溶融シリカは,ボロシリケートガラスとは対照的に添加物を持たない.したがって,純粋な形態であるSiO2で存在する.溶融したシリカは,通常のガラスと比較して赤外線と紫外線スペクトルでより高い伝播率を持っています溶融したシリカは,超純粋なSiO2を溶かして再固化することによって生成される.一方,合成溶融シリカは,H2 + O2大気の中でガス化され,それから酸化されるSiCl4のようなシリコン豊富な化学的前体から作られています.この場合形成されるSiO2粉末は基板上でシリカに溶解される.溶解したシリカブロックは,ウエファーに分割され,その後ウエファが最終的に磨かれる.

溶かした クォーツ ワッフル の 主要 な 特質 と 利点

• 超高純度 (≥99.99% SiO2)
  半導体や光子学における 汚染に敏感なプロセスに最適です

• 広い温度範囲
  変形なしで冷凍状態から""00°C以上の熱環境に耐える.

• 特殊なUVおよびIR伝播性
  深い紫外線 (DUV) から近赤外線 (NIR) までの優れた光学透明性を提供します.

• 低熱膨張
  熱循環下で次元安定性を確保し,部品のストレスを軽減します.

• 化学的惰性
  ほとんどの酸,塩基,溶媒に耐性があり,厳しいプロセス条件に最適です.

• 表面品質管理
  光学およびMEMSアプリケーションのための超滑らかな双面磨き形式で利用できます.

製造プロセス

溶融クォーツウエフルは,次の手順で製造されます.

1. 原材料の選択高純度な天然クォーツ砂や結晶を選択して浄化します

2. 溶融と融合:クォーツ粒子は,気圧制御下での電気炉で~2000°Cで溶かして泡や汚れを除去する.

3. 固化とブロック形成:溶けた材料は固体ブロックに冷却される.

4. ワッフル切断:精密なワイヤセールで 固まった溶けたクォーツを 片片に切る

5. ラッピングとポーリング:ワッフル表面は,精密で平坦な厚さを得るために磨き,ラップ,そして磨きされます.

6. 清掃と検査最終的なウエフルは,クラス100/1000のクリーンルームで超音波で清掃され,欠陥を確認されます.

申請

溶融クォーツウエファーは,光学透明性,耐熱性,化学抵抗性を必要とする産業にわたって使用されています.

半導体

• 高温処理におけるキャリア・ウェーフ

• ディフュージョン・アイオンインプランテーション・マスク

• エッチング,堆積,検査のプラットフォーム

光学と光学

• オプティカルコーティング用基板

• レーザー窓とビームスプリッタ

• 精密なUVおよびIR光学部品

研究室と研究

• 分析器具のためのサンプルキャリア

• 微流体および化学分析プラットフォーム

• 高温反応基質

LEDと太陽光発電

• LEDチップの製造のための炉のウエフ

• 光電池の研究開発における基板

入手可能な仕様

技術 的 利点

• ガラスのような構造結晶クォーツに含まれる二分折れを排除する

• 結晶軸がない理想的な光学アプリケーションにおける同otropic行動

• 毛穴のない平らな表面浄化とコーティング粘着性を向上させるため

• 粘着,切断,光立体撮影に適している

• 低OH含有度紫外線耐久性の向上のために利用可能

よくある質問 (FAQ)

Q1: 溶融クォーツと溶融シリカの違いは?
両方とも無形SiO2を指しますが, 溶解シリカはしばしば合成的に生産された高純度ガラスを意味しますが, 溶解クォーツは天然クォーツから派生します.ほとんどの用途ではほぼ同じ性質があります.

Q2: 溶融クォーツウエフルは高真空環境で使用できますか?
溶融クォーツは 非常な低排出量と高熱安定性があり 真空システムや宇宙用途に最適です

Q3:これらのウエファは,UVレーザー用途に適していますか?
完全に. 溶融クォーツは深紫外線範囲 (~185nmまで) で優れた伝達性を示し,DUVレーザー光学とフォトマスク基板に適しています.

Q4: オーダーメイドも提供していますか?
そうです 客の要求に応じて 円盤を製造します 直径,厚さ,表面仕上げ,レーザー切削パターンなどです