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サファイアの基質
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光学用 4インチ 6インチ A面 サファイアウェーハ 単結晶

光学用 4インチ 6インチ A面 サファイアウェーハ 単結晶

ブランド名: ZMSH
型番: サファイア・ウェーファー
MOQ: 10ピース
パッケージの詳細: カスタマイズされたパッケージ
支払条件: T/T
詳細情報
起源の場所:
中国
証明:
RoHS
直径:
4インチ 6インチ
材料:
Al2o3単結晶
表面:
sspかdsp
厚さの耐性:
±15um
カスタマイズ:
許容できる
パッケージ:
真空パックによる100つの等級のクリーン ルーム
ハイライト:

4inch sapphire wafer optical substrate

,

6inch single crystal sapphire wafer

,

plane sapphire wafers for optics

製品説明

 

4インチ 6インチA Plane サファイアウェーハ 光学用単結晶  

 

サファイアウェーハの説明:

 

サファイアウェーハは、優れた硬度、熱安定性、耐薬品性、および光学的な透明性で知られる単結晶酸化アルミニウム(Al₂O₃)基板です。最も耐久性があり安定した結晶材料の1つであるサファイアは、高度な半導体、光電子、および光学用途において重要な基板および保護材料として機能します。紫外線(UV)から赤外線(IR)波長(約190 nmから5 µm)まで広範囲の光透過範囲を持つサファイアウェーハは、光学的な透明性と機械的強度を両方必要とするLED、レーザーダイオード、および光学部品に最適です。成熟した製造技術、一貫した結晶品質、およびC面(0001)、A面(11̅20)、R面(1̅102)、M面(10̅10)を含む複数の配向での利用可能性により、サファイアはGaNベースの半導体および高性能光学システムの業界標準基板材料となっています。

 

                                                   光学用 4インチ 6インチ A面 サファイアウェーハ 単結晶 0

 

 

サファイアウェーハの主な利点:

 

高い硬度と耐摩耗性:

サファイアは、最も硬い既知の材料の1つであり、優れた傷と摩耗に対する耐性を提供し、過酷な動作条件下でも長持ちする耐久性を保証します。

 

高い機械的強度:

優れた機械的強度と構造的完全性により、サファイアは損傷に強く、精密加工やデバイス統合中に扱いやすくなっています。

 

高い融点:

サファイアは、非常に高い温度に耐えることができる優れた熱安定性を示し、高温環境およびエピタキシャル成長プロセスに適しています。

 

広いスペクトル透過性:

サファイアは、可視光から近赤外線スペクトル全体にわたって優れた透明性を提供し、光学窓、レンズ、およびその他の精密光学部品に最適です。

 

優れた光子特性:

LED、レーザーダイオード、およびその他の光電子デバイスの理想的な基板材料として、サファイアは効率的な光子伝送と安定した光放射をサポートします。

 

化学的安定性:

サファイアは水に不溶であり、酸やアルカリ(フッ化水素酸、リン酸、および溶融水酸化カリウムを除く)に対して非常に耐性があり、腐食性または反応性環境での使用に優れた化学的慣性を与えます。

 

優れた電気絶縁性:

優れた誘電特性により、サファイアは高い電気抵抗と安定性を必要とする用途に理想的な絶縁材料として機能します。

 

 

 

ZMSHサファイアウェーハの仕様と関連製品の推奨事項:

 

サファイアウェーハ 12インチ AL2O3参考として、お客様のDSP SSPをカスタマイズ

 

ZMSHサファイアウェーハの仕様
特性 2インチ 3インチ 4インチ 6インチ 8インチ 12インチ

直径
50.8 ± 0.1 mm 76.2 ±0.1mm 100 ±0.1mm 150 ±0.1mm 200 ± 0.1 mm 300 ± 0.1 mm

厚さ
100 ± 15um
430 ± 15 um,
500 ± 15um
100 ± 15um
430 ± 15 um,
500 ± 15um
200 ± 15um
500 ± 15 um,
650 ± 15um
350 ± 15um
500 ± 15 um,
1000 ± 15um
700 ± 25 um
1600 ±25um
またはカスタマイズ
725 ± 25 um
1000 ±25um
またはカスタマイズ

粗さ
Ra ≤ 0.2 nm Ra ≤ 0.2nm Ra ≤ 0.2nm Ra ≤ 0.2nm Ra ≤ 0.3nm Ra ≤ 0.5nm

ワープ
≤ 10um ≤ 10um ≤ 10um ≤ 15um ≤ 30um ≤ 60um

TTV
≤ 3um ≤ 10um ≤ 10um ≤ 10um ≤ 10um ≤ 10um

傷/ディグ。
20/10 20/10 20/10 20/10 40/20 60/40
   
研磨 DSP(両面研磨); SSP(片面研磨)
   
形状 丸型、フラット16mm OF長さ22mm; OF長さ30/32.5mm; OF長さ47.5mm; ノッチ;
エッジ形状 45 °, C形状
材料 サファイア結晶
   
備考 上記のすべての仕様は、お客様のご要望に応じてカスタマイズできます

 

 

サファイアウェーハの配向と用途:

 

    さまざまなサファイアウェーハ間の主な違いは、結晶配向にあり、これは結晶学的配置に影響し、特定の方向における硬度、光透過率、圧電応答などの光学、電子、および物理的特性に影響します。 一般的なサファイアウェーハの配向には、C面({0001})A面({11-20})M面({1-100})、およびR面({1-102})があり、それぞれがレーザー、LED、無線周波数(RF)デバイス、および電子部品などのさまざまな用途に独自の利点を提供します。

 

配向 用途 特徴と利点
C面({0001}) レーザー、LED、および集積回路の基板 C面は、サファイア結晶の最も滑らかな表面の1つであり、優れた均一性と光学特性を提供します。これは、窒化ガリウム(GaN)などの材料の準備とエピタキシャル成長の基板として一般的に使用されます。
A面({11-20}) RFデバイス、MEMSコンポーネント、および光学窓 A面は、C面とは異なる光学特性と電気特性を持ち、特定の結晶学的配向における優れた指向性透過性により、RFデバイスとMEMSコンポーネントの製造に一般的に使用されます。
M面({1-100}) 特定のマイクロエレクトロニクスデバイスとセンサー M面は、独自の結晶構造と電気特性を備えており、特定のセンサーとマイクロエレクトロニクスデバイスの製造に適しています。
R面({1-102}) 光学部品とマイクロ波デバイス R面は、C面、A面、およびM面とは異なる光学特性と電気特性を持ち、特殊な光学部品とマイクロ波デバイスの製造に使用されます。

 

 

 

Q&A:

 

Q: サファイアウェーハは何に使用されますか?

 

A: サファイアウェーハは、光学的な透明性、熱安定性、機械的強度、および耐薬品性が不可欠な場所で使用されます。これにより、LED、レーザー、半導体、RFデバイス、光学システム、航空宇宙機器、および高度な電子機器に不可欠なものとなっています。

 

Q: サファイアの結晶配向は何ですか?

 

A: サファイアは単結晶酸化アルミニウム(Al₂O₃)です。六方晶(三方晶)の結晶構造を持ち、菱面体晶系に属し、空間群R-3cです。サファイア(α-Al₂O₃)は六方晶単結晶であり、光学およびエピタキシャル用途にはC面(0001)として最も一般的に配向されていますが、A面、R面、およびM面カットも、目的の光学、機械的、または格子整合特性に応じて使用されます。

 

Q: サファイアウェーハは透明ですか?

 

A: サファイアウェーハは、約170 nm(UV)から約5 µm(IR)まで透明であり、優れた光学的な透明性、高い硬度、および化学的耐久性を提供します。ARコーティングを使用すると、透明度は98%を超え、透明性と耐久性の両方が必要な光学および電子用途に最適です。