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| ブランド名: | ZMSH |
| MOQ: | 2 |
| 価格: | by case |
| パッケージの詳細: | カスタムカートン |
| 支払条件: | T/T |
プローブ ステーション チャックはプローブ ステーションの重要なコンポーネントであり、電気試験やデバイスの特性評価中にウェーハやサンプルを支持、保持、位置決めするように設計されています。ウェハ、チップ、基板、半導体デバイスに安定したテストプラットフォームを提供し、プローブ針とテスト対象デバイス間の信頼性の高い接触を保証します。
チャックは、ウェーハプロービング、半導体パラメータテスト、故障解析、研究開発検証、生産検査で一般的に使用されます。さまざまなテスト要件に応じて、チャックは標準チャック、真空チャック、ホットチャック、または特別な表面処理と取り付け構造を備えたカスタマイズされたチャックとして設計できます。
プローブ ステーション チャックの主な機能は、プロービング プロセス中にウェハまたはサンプルを平らで安定し、正確に位置決めされた状態に保つことです。真空吸着または機械的保持により、チャックはサンプルの移動を防止し、電気測定の再現性と精度を向上させます。
温度関連のテストの場合、チャックを加熱モジュール、温度センサー、または冷却構造と統合して、測定中の安定した熱制御をサポートすることもできます。
チャック表面は、プロービング中にウェハまたはサンプルをしっかりとサポートするように設計されています。真空穴または真空溝をカスタマイズして、さまざまなウェーハサイズに確実に吸着することができます。
高い表面平坦性精密な機械加工と研磨により、良好な表面平坦性が確保されます。これは、安定したウェーハ接触と正確なプローブテストにとって重要です。
チャックは、さまざまなサンプル サイズやテスト要件に合わせて、真空穴、リング状の真空溝、またはマルチゾーン真空吸着構造を備えて設計できます。
ホットチャック用途では、加熱効率と温度均一性を向上させるために、熱伝導率の良い材料を選択できます。
耐摩耗性、耐酸化性、導電性、絶縁性能を向上させるために、金メッキ、ニッケルメッキ、陽極酸化処理、セラミックコーティングなどの保護コーティングなどの表面処理が可能です。
底部構造、取り付け穴、真空ポート、接続インターフェースは、お客様のプローブステーションの設計に応じてカスタマイズできます。
| タイプ | 説明 |
|---|---|
| 標準チャック | 室温プロービング中の一般的なウェハまたはサンプルの保持に使用されます。 |
| 真空チャック | 真空吸着を使用してウェーハまたはサンプルを所定の位置にしっかりと保持します |
| ホットチャック | 高温プロービングおよび熱試験用の加熱機能を統合 |
| 高温・低温チャック | 温度可変の電気試験用に設計 |
| カスタマイズされたチャック | 特殊なウェーハサイズ、材料、コーティング、または装置インターフェースに応じて設計 |
| アイテム | オプション |
|---|---|
| ウェーハサイズ | 2インチ、3インチ、4インチ、6インチ、8インチまたはカスタマイズされた |
| 材料 | アルミニウム合金、銅合金、ステンレス鋼、セラミックスなど |
| 表面仕上げ | 研磨、メッキ、コーティング、陽極酸化、またはカスタマイズ |
| 真空構造 | 真空穴、真空溝、マルチゾーン真空設計 |
| 温度機能 | 室温、加熱、冷却、または高低温度制御 |
| 表面平坦度 | 試験精度要件に応じてカスタマイズ |
| 取付構造 | プローブステーションの設置インターフェースに合わせて設計 |
| 応用 | ウェハテスト、チップテスト、半導体デバイスプロービング、研究開発テスト |
プローブ ステーション チャックは、電気テスト中にウェーハ、チップ、または基板を支持および固定するためにプローブ ステーションで使用される精密保持プラットフォームです。プローブ針がデバイスに接触している間、サンプルを安定して正確に位置決めするのに役立ちます。
主な機能は、プロービング中にウェーハまたはサンプルをしっかりと保持することです。安定したサポート、信頼性の高い真空吸着、正確な位置決め、および半導体テスト用のオプションの温度制御を提供します。
チャックは、次のようなさまざまなウェーハサイズに合わせてカスタマイズできます。2インチ、3インチ、4インチ、6インチ、8インチ、または顧客の要件に応じた他の特別なサイズ。
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