詳細情報 |
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Diameter: | +0/-0.20 mm | Length/Width: | +0/-0.20 mm (customizable) |
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Surface Roughness: | Ra < 1 nm (optical polish) | Flatness: | λ/10 @ 633nm (high-precision) |
Thermal Expansion: | 5.5 × 10⁻⁷ /℃ | Surface Quality: | <40-20 scratch/dig |
ハイライト: | レーザー溶融シリカクォーツガラス窓,SiO2 溶解シリカクォーツガラス窓,溶融したシリカクォーツガラス窓 |
製品の説明
石英ガラス窓 SiO2 UV-赤外線透過、レーザー
製品紹介
SiO₂石英ガラス板は、石英窓、石英基板、または透明シリカシートとも呼ばれ、高純度の二酸化ケイ素から製造された非晶質材料です。優れた光線透過率、耐熱性、非常に低い熱膨張、優れた誘電強度、および卓越した化学的慣性を有しています。極端な温度と過酷な化学的条件下での動作を目的として設計された石英板は、高度な技術分野に不可欠です。純度と用途に基づいて、光学グレード、半導体グレード、および工業グレードのバリアントに分類されます。
製造原理
石英ガラス板の製造には、次の手順が含まれます。
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原料の準備: 高純度の天然石英砂または合成蒸着SiO₂を使用し、金属不純物を1ppm以下に制御します。
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溶融と成形: 原料石英を2000℃以上で溶融するために電気炉、火炎溶融、またはプラズマ溶融を使用し、その後、バルクまたは円筒形に鋳造または引き上げます。
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アニーリング: 内部応力を緩和するために、石英板は寸法安定性のために約1000℃でゆっくりとアニーリングされます。
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切断と研削: ダイヤモンド工具を使用して、石英ブロックを精密に所望の寸法にスライスします。
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研磨(オプション): 光学グレードの石英は、片面または両面を原子レベルの滑らかさ(Ra<1nm)に研磨します。
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クリーンルームでの梱包: 最終的な洗浄と梱包は、半導体環境に適したISO認証のクリーンルームで行われます。
技術仕様
パラメータ | 仕様/許容範囲 |
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直径 | +0/-0.20 mm |
長さ/幅 | +0/-0.20 mm |
厚さ | ±0.1 mm |
平面度 | ≤50mm: <½ 波長(90%以上のクリアアパーチャ) |
>50mm: <2 波長(90%以上のクリアアパーチャ) | |
表面品質 | <40-20 スクラッチ/ディグ |
平行度 | <1アーク分 |
用途
その優れた材料特性により、石英ガラス板は以下に適用されます:
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半導体産業: フォトマスク基板、洗浄キャリア、ウェーハホルダー、プラズマエッチング窓;
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レーザーと光学: UV窓、IR窓、キャビティ光学系、レンズマウント;
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航空宇宙光学: 高透明シールド、センサービューポート;
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新エネルギー: レーザー溶接シールド、水素燃料電池ポート;
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化学実験室: 耐酸/耐塩基性観察窓、反応器ビューポート。
JGS石英ガラス分類
このJGSシリーズ は、中国における光学グレード石英ガラスの一般的な分類システムです。各タイプは、UV、可視光、およびIR光に対して異なる透過特性を提供します:
グレード | 名称 | 主な特徴 | 透過範囲 | 代表的な用途 |
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JGS1 | UV光学石英 | 190nmからの優れたUV透過率 | 190–2500nm | UVレーザー窓、フォトマスクプレート、UV分光計 |
JGS2 | 光学石英 | わずかなUV吸収、費用対効果 | 260–2500nm | 可視レーザー窓、光学機器、一般光学系 |
JGS3 | 赤外線石英 | 強いUV吸収、良好なIR透過率 | 260–3500nm | IR窓、熱画像光学系、検出器シールド |
FAQ
Q1: 石英ガラスはクリスタルガラスと同じですか?
A: いいえ。石英ガラスは純粋な非晶質シリカですが、クリスタルガラスには酸化鉛が含まれることが多く、装飾目的で使用されます。
Q2: 石英板は壊れやすいですか?
A: 石英は硬いですが、それでも脆いです。手袋を使用し、衝撃吸収性の梱包材を使用して慎重に取り扱ってください。
Q3: 穴あけ加工またはCNC加工を依頼できますか?
A: はい。お客様の仕様に合わせて、レーザー穴あけ、CNC面取り、精密エッジ処理を提供しています。
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