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詳細情報 |
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| 密度: | 3.21g/cm3 | 硬さ: | 2500 ビッカース硬さ |
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| 穀物 サイズ: | 2~10μm | 化学純度: | 99.99995% |
| 熱容量: | 640J·kg-1 ·K-1 | サブライメーション温度: | 2700°C |
製品の説明
製品紹介 ウェーファーハンド
硬さも熱安定性も高い 密度の高い高純度シリコンカービッドで作られています優れた機械的強度を持っています耐腐蝕性,耐熱性,超清潔な性能. SiC,GaN,クリーンルームや高温環境では.
ウェッファーハンドの構造と動作原理
SiCウエファーハンドは,フォークのような構造やカスタムプラットフォームを使用して,ウエファーの端または裏側でウエファーを支えます.オプションの真空吸入,アライナインメント溝,触れないか,触れないか,触れないか高度な構造硬さにより,輸送中に寸法が安定し,ワッフルの正確な位置付けと汚染リスクが最小限に保たれます.
ウェッファーハンドの応用分野
ワイファーハンドは,以下の半導体および光電子プロセスで広く使用されています.
1ワイファー輸送システム (EFEM,FOUPロード,SMIFポッドインターフェイスなど)
2石版,エッチング,イオン植入,熱加工のためのホイファー積載/卸載
3ワッファー検査,分類,分類ツール
4鋳造粘着,切断,包装,最終試験ステーション
5画面パネル,MEMS,およびバイオチップ製造における精密処理
6. Si,SiC,GaAs,GaN,サファイアおよび他の基板に適しています
製品 の 利点W の手から
A: 2インチから12インチのウエフをサポートします.カスタムサイズも利用できます.
Q2: ワッフルの手がワッフルを掻き傷つけたり 汚染したりする?
A: いや 手は微粒子が少ない 耐磨性のある材料で 端がカムフラージュで クリーンルームに適合しています
Q3: ロボットシステムと統合できる?
A:はい,さまざまなロボットインターフェース (SECS/GEM,SEMI標準など) をサポートし,特定のシステムにカスタマイズできます.
Q4: 期待される使用寿命と保守要件は?
A: 最小限のメンテナンスで100万回以上の動作に設計されており,定期的な清掃が十分です.
Q5: 異なるウエファー材料 (Si,SiC,サファイアなど) をベースにカスタマイズできますか?
A: はい.我々は,適切なサポート構造を持つ様々なウェーファー材料に最適化されたカスタムデザインを提供しています.
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